產(chǎn)品描述
注冊信息
研發(fā)濺射源(HV 或UHV)
AJA ***際公司從1991 年來已經(jīng)研發(fā)了上百種不同類型的磁控濺射源,其中包括許多定制化濺射源。根據(jù)基片幾何形狀,腔室結(jié)構(gòu),靶材材料組成和薄膜規(guī)格的不同需求可選擇不同型號濺射源,如矩形,圓形,塔式和圓柱形。詳情如下或聯(lián)系AJA.
主要特點
Modular?。恚幔纾睿澹簟。幔颍颍幔。椋螅铮欤幔簦澹洹。妫颍铮怼。悖铮铮欤椋睿纭。鳎幔簦澹?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>模塊化磁鐵組合,與冷卻水隔離
Magnetic?。恚幔簦澹颍椋幔臁。螅穑酰簦簦澹颍椋睿纭。铮妗。簦瑁椋悖耄澹颉。簦幔颍纾澹簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>更厚的靶材磁性材料濺射
Easy removal?。铮妗。欤幔颍纾澹颉。恚幔纾睿澹簦椋恪。簦幔颍纾澹簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>易于更換更大磁性靶材
Integral gas injection?。幔睿洹。悖瑁椋恚睿澹。螅螅簦澹?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>內(nèi)部注氣和氣路管道系統(tǒng)
Efficient target?。悖铮铮欤椋睿纭。鳎椋簦琛。睿铩。觯幔悖酰酰恚鳎幔簦澹颉。螅澹幔欤?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>高效靶材冷卻,無真空水密封
Clamped target?。恚铮酰睿簦椋睿纭。妫铮颉。铮穑簦椋恚幔臁。瑁澹幔簟。簦颍幔睿螅妫澹?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>靶材夾緊裝置,優(yōu)化熱傳遞
RF &?。模谩。悖铮恚穑幔簦椋猓椋欤椋簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>RF&DC 兼容
Rugged?。龋帧。悖铮睿螅簦颍酰悖簦椋铮?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>加固HV 結(jié)構(gòu)
Operating pressure:?。ǎ埃场。恚裕铮颍颉。。保啊。裕铮颍颍?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>操作氣壓(0.3?。恚裕铮颍颉。。保啊。裕铮颍颍?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>In-situ tilt?。铮颉。恚幔睿酰幔臁。簦椋欤簟。妫铮颉。铮穑簦椋恚酰怼。酰睿椋妫铮颍恚椋簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>內(nèi)置偏轉(zhuǎn)或手動偏轉(zhuǎn),獲得***佳均勻性
Custom?。觯澹颍螅椋铮睿蟆。幔觯幔椋欤幔猓欤?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>可定制化型號
Source/power?。螅酰穑穑欤簦幔颍纾澹簟。穑幔悖耄幔纾澹蟆。幔觯幔椋欤幔猓欤?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>濺射源/電源/靶材包裝
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