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研發(fā)濺射源（ＨＶ　或ＵＨＶ）

ＡＪＡ　***際公司從１９９１　年來已經(jīng)研發(fā)了上百種不同類型的磁控濺射源，其中包括許多定制化濺射源。根據(jù)基片幾何形狀，腔室結(jié)構(gòu)，靶材材料組成和薄膜規(guī)格的不同需求可選擇不同型號濺射源，如矩形，圓形，塔式和圓柱形。詳情如下或聯(lián)系ＡＪＡ．

主要特點
Ｍｏｄｕｌａｒ?。恚幔纾睿澹簟。幔颍颍幔。椋螅铮欤幔簦澹洹。妫颍铮怼。悖铮铮欤椋睿纭。鳎幔簦澹?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>模塊化磁鐵組合，與冷卻水隔離
Ｍａｇｎｅｔｉｃ?。恚幔簦澹颍椋幔臁。螅穑酰簦簦澹颍椋睿纭。铮妗。簦瑁椋悖耄澹颉。簦幔颍纾澹簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>更厚的靶材磁性材料濺射
Ｅａｓｙ　ｒｅｍｏｖａｌ?。铮妗。欤幔颍纾澹颉。恚幔纾睿澹簦椋恪。簦幔颍纾澹簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>易于更換更大磁性靶材
Ｉｎｔｅｇｒａｌ　ｇａｓ　ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ?。幔睿洹。悖瑁椋恚睿澹。螅螅簦澹?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>內(nèi)部注氣和氣路管道系統(tǒng)
Ｅｆｆｉｃｉｅｎｔ　ｔａｒｇｅｔ?。悖铮铮欤椋睿纭。鳎椋簦琛。睿铩。觯幔悖酰酰恚鳎幔簦澹颉。螅澹幔欤?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>高效靶材冷卻，無真空水密封
Ｃｌａｍｐｅｄ　ｔａｒｇｅｔ?。恚铮酰睿簦椋睿纭。妫铮颉。铮穑簦椋恚幔臁。瑁澹幔簟。簦颍幔睿螅妫澹?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>靶材夾緊裝置，優(yōu)化熱傳遞
ＲＦ　＆?。模谩。悖铮恚穑幔簦椋猓椋欤椋簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>ＲＦ＆ＤＣ　兼容
Ｒｕｇｇｅｄ?。龋帧。悖铮睿螅簦颍酰悖簦椋铮?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>加固ＨＶ　結(jié)構(gòu)
Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ｐｒｅｓｓｕｒｅ：?。ǎ埃场。恚裕铮颍颉。。保啊。裕铮颍颍?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>操作氣壓（０．３?。恚裕铮颍颉。。保啊。裕铮颍颍?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>Ｉｎ－ｓｉｔｕ　ｔｉｌｔ?。铮颉。恚幔睿酰幔臁。簦椋欤簟。妫铮颉。铮穑簦椋恚酰怼。酰睿椋妫铮颍恚椋簦?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>內(nèi)置偏轉(zhuǎn)或手動偏轉(zhuǎn)，獲得***佳均勻性
Ｃｕｓｔｏｍ?。觯澹颍螅椋铮睿蟆。幔觯幔椋欤幔猓欤?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>可定制化型號
Ｓｏｕｒｃｅ／ｐｏｗｅｒ?。螅酰穑穑欤簦幔颍纾澹簟。穑幔悖耄幔纾澹蟆。幔觯幔椋欤幔猓欤?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>濺射源／電源／靶材包裝